はじめての半導体 静電チャックとは?仕組み・材質の選び方から現場のトラブル対策まで解説
静電チャックの仕組みや原理を初心者向けに解説。静電気の力でウエハーを固定するメリットや、真空環境での活用シーン、セラミックス等の材質による違いをまとめました。北海道で注目される半導体製造の歩留まり向上に欠かせない、重要技術の基礎がわかります。
はじめての半導体
ラピダスと北海道の未来
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